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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體和mems器件，尤其是一種介質(zhì)隔離雙極ic和壓阻mems器件的單片集成方法。、在“新摩爾定律（more-than-moore）”驅(qū)動(dòng)下，mems器件正從二維平面結(jié)構(gòu)向三維立體架構(gòu)演進(jìn)，以實(shí)現(xiàn)更高性能。ic-mems單片集成技術(shù)是實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)的關(guān)鍵路徑，已在部分領(lǐng)域量產(chǎn)。、傳...

本發(fā)明涉及電場傳感器封裝，尤其是一種mems電場傳感器的批量封裝治具、應(yīng)用方法及封裝設(shè)備。、mems電場傳感器主要應(yīng)用于國防、航空、航天、氣象、石油化工、靜電等領(lǐng)域，并在上述領(lǐng)域均是發(fā)揮了及其重要的作用。、mems電場傳感器的封裝工藝是影響mems電場傳感器實(shí)用化的關(guān)鍵技術(shù)，近年來倍受關(guān)注...

本發(fā)明涉及散熱裝置，尤其涉及一種基于mems器件的環(huán)形束流散熱裝置。、隨著g、ai、電動(dòng)汽車、航空航天等領(lǐng)域的快速發(fā)展，電子設(shè)備（如芯片、儲能電池、衛(wèi)星等）的尺寸不斷縮小，但功能卻日益增強(qiáng)，導(dǎo)致單位面積的熱量急劇增加。例如，ai芯片的局部熱流密度可達(dá)?w/cm2以上，遠(yuǎn)超傳統(tǒng)散熱技術(shù)的極限...

本發(fā)明屬于光學(xué)與量子傳感，具體涉及一種磁力計(jì)用微型原子氣室，以及其制造方法。、微型原子氣室作為量子傳感器的核心部件，其性能受多種因素影響，其中堿金屬原子與腔體壁面的非彈性碰撞和表面吸附是導(dǎo)致原子自旋弛豫、信號衰減和長期漂移的主要原因之一。傳統(tǒng)玻璃或硅基氣室內(nèi)壁為親性表面，易造成銣、銫等原子...

本發(fā)明屬于mems引線，涉及一種基于激光焊接的高溫mems器件引線裝置及方法。、微機(jī)電系統(tǒng)(mems)技術(shù)作為一種前沿技術(shù)，借助微納加工工藝，成功實(shí)現(xiàn)了機(jī)械結(jié)構(gòu)、傳感器、執(zhí)行器與電子電路在單片上的集成。這一創(chuàng)新技術(shù)具備諸多顯著優(yōu)勢，其產(chǎn)品微型化程度高，能有效節(jié)省空間；功耗極低，符合節(jié)能環(huán)保...

本申請涉及微電子機(jī)械系統(tǒng)加工工藝，具體涉及一種mems傳感器及其空腔結(jié)構(gòu)的制備方法。、在mems壓阻式壓力傳感器中空腔結(jié)構(gòu)可使形變更顯著，從而提升傳感器的靈敏度。空腔結(jié)構(gòu)通常由濕法腐蝕或干法刻蝕等工藝形成。各向同性濕法腐蝕由于腐蝕速率在各個(gè)方向接近一致，容易對薄硅膜產(chǎn)生過度腐蝕，難以實(shí)現(xiàn)對...

本公開大體上涉及微機(jī)電，且特定來說涉及一種具有鉸鏈層級致動(dòng)的非接觸式微機(jī)電系統(tǒng)裝置。、一些微機(jī)電系統(tǒng)(microelectromechanical?system，mems)裝置在例如數(shù)字微鏡裝置(digitalmicromirror?device，dmd)等空間光調(diào)制器(spatial?l...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，特別是涉及一種晶圓鍵合方法。、在微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)中，結(jié)合高深寬比硅刻蝕技術(shù)與微電子工藝，能夠?qū)崿F(xiàn)一系列新型傳感器和執(zhí)行器的結(jié)構(gòu)，如mems麥克風(fēng)、揚(yáng)聲器、壓力傳感器及加速度計(jì)等器件，其功能實(shí)現(xiàn)依賴于微腔體和高深寬比的微結(jié)構(gòu)背板（如振膜）的構(gòu)造，以完成振動(dòng)信號與電信號之間...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件，具體涉及一種mems器件及其制備方法。、mems（micro-electro-mechanical?systems，微機(jī)電系統(tǒng)）器件因其微型化、集成化和高靈敏度等特點(diǎn)，已在智能汽車、醫(yī)療電子、消費(fèi)電子及工業(yè)控制等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。然而，mems器件的制造過程中仍面臨多...

本發(fā)明涉及微納，具體地，涉及一種掃描探針制備和表征裝置。、微納涵蓋了對微納元件的刻蝕、組裝、形貌掃描、檢測等諸多工藝，例如，以刻蝕為例，通過納米級尺度的掃描探針尖端與樣品發(fā)生作用，從而在樣品上刻蝕所需要的圖案。在對微納元件進(jìn)行形貌掃描時(shí)，掃描探針在微納元件成品上掃描獲取形貌信息，以...

本技術(shù)涉及電子封裝領(lǐng)域，具體是一種晶圓級多腔熔封蓋板。、在氣密性濾加速度計(jì)、慣性陀螺等mems芯片需要采用真空氣密性封裝，采用陶瓷外殼和金屬蓋板來實(shí)現(xiàn)真空封裝，存在封裝體積大、重量大的問題，正逐漸被淘汰，晶圓級封裝是當(dāng)前主流。、當(dāng)前晶圓級真空封裝基本采用高溫硅熔鍵合(℃～℃)、金、金硅或低...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體和ic-mems集成，尤其是一種介質(zhì)隔離雙極ic和壓阻mems器件的單片集成結(jié)構(gòu)。、mems（micro-electro-mechanical?systems，即微機(jī)電系統(tǒng)）器件依托先進(jìn)的微納加工技術(shù)，在硅或兼容半導(dǎo)體襯底上構(gòu)筑可動(dòng)微結(jié)構(gòu)——諧振梁、梳齒、質(zhì)量塊等。當(dāng)外界慣...

本發(fā)明屬于光學(xué)與量子傳感，具體涉及一種用于量子傳感的高密封微型原子氣室，以及其制造方法。、在量子精密測量中，原子氣室是核心敏感元件，用于容納堿金屬原子（如銣、銫）蒸氣和緩沖氣體。隨著量子器件向小型化、低功耗、高集成度方向發(fā)展，傳統(tǒng)玻璃吹制氣室因體積大、難以集成而受限；基于硅基mems工藝的...

本發(fā)明涉及微電子制造中的表面處理，具體而言，涉及一種傳感器玻璃蓋板的等離子體活化原子級鍵合方法及系統(tǒng)。、隨著微電子機(jī)械系統(tǒng)（mems）與光學(xué)傳感器市場的飛速擴(kuò)張，對其核心部件——傳感器玻璃蓋板的封裝要求日益嚴(yán)苛，尤其是需要實(shí)現(xiàn)高強(qiáng)度、高氣密性及低應(yīng)力的原子級鍵合。等離子體活化作為一種高效的...

本技術(shù)涉及芯片封裝，尤其涉及一種用于mems芯片的小型化to封裝結(jié)構(gòu)。、to封裝結(jié)構(gòu)是一種常見的電子元件封裝形式，最初主要用于晶體管封裝，后來也廣泛應(yīng)用于二極管和集成電路電子元件，它由金屬或陶瓷材料制成，外形多為圓形或矩形，具有特定數(shù)量的引腳。、經(jīng)檢索，中國專利公告號為：cnu，公開了一種...

本發(fā)明涉及光電中的傳感器，具體涉及一種真空微腔干涉儀芯片及高靈敏度光學(xué)壓力傳感器。、壓力傳感器，是指能感受氣體、液體等流體介質(zhì)壓力信號，并能按照一定的規(guī)律將壓力信號轉(zhuǎn)換成可用的輸出的電信號或光信號的器件或裝置。壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中最為常用的一種傳感器，其廣泛應(yīng)用于水利水電、鐵路交通、智能...

本發(fā)明涉及用于mems器件中的平面外旋轉(zhuǎn)止檔設(shè)計(jì)以及用于制造此類設(shè)計(jì)的方法。、微機(jī)電系統(tǒng)(micro-electro-mechanical?system，mems)是微觀器件技術(shù)，這類器件結(jié)合了電氣部件和運(yùn)動(dòng)部件。mems通常由尺寸介于微米至微米之間的組件構(gòu)成，而mems器件的尺寸通常在微...

本申請涉及微機(jī)電器件，具體而言，涉及一種非射頻壓電聲學(xué)器件及耳機(jī)。、微機(jī)電系統(tǒng)（micro?electromechanical?system，mems）的壓電聲學(xué)器件主要由壓電單元和專用集成電路（?application-specific?integrated?circuit?，asic）...

本發(fā)明涉及mems傳感器的玻璃封裝，具體而言，涉及一種基于熱膨脹系數(shù)梯度調(diào)控的傳感器玻璃封裝方法及系統(tǒng)。、隨著微電子機(jī)械系統(tǒng)（mems）傳感器在汽車、航空航天及消費(fèi)電子等領(lǐng)域應(yīng)用的深入，其可靠性要求日益嚴(yán)苛。玻璃封裝作為實(shí)現(xiàn)傳感器氣密性保護(hù)的核心環(huán)節(jié)，面臨著熱機(jī)械應(yīng)力導(dǎo)致的封裝開裂、密封失...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，具體而言涉及一種mems壓力傳感器及其制造方法、電子裝置。、mems壓力傳感器是在mems工藝基礎(chǔ)上發(fā)展起來的前沿研究領(lǐng)域，其適用于高沖擊、高過載、導(dǎo)電、腐蝕、輻射等惡劣環(huán)境，并廣泛應(yīng)用于航空航天、電子、工業(yè)、醫(yī)療衛(wèi)生與環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域。其中，相比于壓阻式壓力傳感器，電容式...