本發(fā)明涉及機(jī)械手,具體為一種具備緩沖機(jī)構(gòu)的玻璃晶圓抓取機(jī)械手。、玻璃晶圓抓取機(jī)械手是專為玻璃晶圓設(shè)計(jì),通過機(jī)械結(jié)構(gòu)與控制系統(tǒng)協(xié)同,實(shí)現(xiàn)其在超潔凈環(huán)境中精準(zhǔn)抓取、搬運(yùn)及定位的自動(dòng)化裝置;、目前機(jī)械手在玻璃晶圓抓取作業(yè)中,轉(zhuǎn)動(dòng)臂轉(zhuǎn)動(dòng)會(huì)產(chǎn)生慣性和振動(dòng),機(jī)械手抓取位置容易出現(xiàn)偏移的情況,導(dǎo)致玻璃晶...