本申請涉及半導(dǎo)體制造,尤其是涉及一種超結(jié)功率器件的制備方法。、超結(jié)功率器件是一種具有超結(jié)耐壓層的功率半導(dǎo)體器件,其耐壓層采用周期性交替摻雜的pn結(jié)結(jié)構(gòu),將傳統(tǒng)的電阻型耐壓層質(zhì)變?yōu)榻Y(jié)型耐壓層,這種結(jié)構(gòu)通過引入pn結(jié)的反向耗盡特性,實(shí)現(xiàn)電荷平衡和電場調(diào)節(jié),從而突破傳統(tǒng)功率器件比導(dǎo)通電阻與耐壓之...