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本發(fā)明涉及一種控制處理室內(nèi)壓力的設(shè)備及其操作方法。半導(dǎo)體處理室內(nèi)的壓力一般是通過改變從處理室中由真空泵排出的過程氣體的流量來實(shí)現(xiàn)的。這些真空泵包括一個有渦輪分子泵的第一泵單元和一個有前級泵的第二泵單元。通常第一泵單元的入口以流體連通的方式與半導(dǎo)體處理室的出口相連，第二泵單元的入口也以流體...

本發(fā)明涉及權(quán)利要求1的前敘部分所述的泵。此外，本發(fā)明涉及調(diào)節(jié)方法和這種泵的應(yīng)用。能夠在高壓下以最少的損耗、最小的脈動和相應(yīng)準(zhǔn)確、確定的流量輸送最小容量的液體的泵是高性能液體色譜法(HPLC)所特別需要的。目前，在例如100巴的色譜柱工作壓力下，流速高達(dá)約5毫升/分鐘，而變化率能力降至10...

本發(fā)明總體上涉及一種流體壓縮機(jī)，尤其是，涉及一種具有改進(jìn)的排氣閥的壓縮機(jī)。許多往復(fù)式壓縮機(jī)的缸筒利用一個活塞組件，該活塞組件在形成在壓縮機(jī)本體中的缸筒中往復(fù)運(yùn)動，并且其外側(cè)關(guān)閉缸筒的端部。在這些設(shè)置中，活塞組件通常包括一個控制閥，該控制閥控制氣體流過壓縮機(jī)的本體結(jié)構(gòu)到達(dá)缸筒中，然后在允許...

本發(fā)明涉及泵機(jī)組。作為現(xiàn)有的泵機(jī)組如圖4所示。該泵機(jī)組具有由變速馬達(dá)51進(jìn)行轉(zhuǎn)速可變驅(qū)動的固定容積式泵52和通過改變供給所述變速馬達(dá)51的電流的頻率來控制馬達(dá)51的轉(zhuǎn)速的控制單元53。該控制單元53接收來自檢測所述泵52的排出路道的壓力的壓力傳感器54的信號，通過控制所述變速馬達(dá)51的轉(zhuǎn)...

本發(fā)明涉及一種四聯(lián)泵(four-inpump)，其中分別設(shè)置在四個容積室中的活塞進(jìn)行泵送運(yùn)動，更具體地涉及這樣一種四聯(lián)泵，其中四個偏心軸利用設(shè)在第一和第二缸體之間的齒輪箱的傳動裝置進(jìn)行偏心轉(zhuǎn)動運(yùn)動，且分別安裝在偏心軸上的活塞在第一和第二缸體中的容積室中以彼此不同的速度進(jìn)行內(nèi)接偏心圓周運(yùn)動。背景技...

本發(fā)明涉及一種具有權(quán)利要求1前序部分特征的抽真空裝置。如果要在一個處理腔室內(nèi)或者一個其他的容器內(nèi)建立處于高真空范圍(＜＝10-3mbar)內(nèi)的壓力，通常使用一些具有一個抽吸側(cè)的真空泵和一個大氣壓力側(cè)的真空泵(預(yù)真空泵)的抽真空裝置。抽吸側(cè)的真空泵通常設(shè)計(jì)為機(jī)械動力的真空泵。屬于這一類的有...

本發(fā)明總的來說涉及產(chǎn)生一種基本上從其中消除顆粒物質(zhì)的電動(electro-kinetic)氣流的設(shè)備。使用電動機(jī)來旋轉(zhuǎn)風(fēng)機(jī)葉片以產(chǎn)生氣流是本領(lǐng)域所公知的。不幸地，所述風(fēng)扇產(chǎn)生大量噪聲，并且給被引誘將指頭或鉛筆插入轉(zhuǎn)動的風(fēng)機(jī)葉片的兒童帶來危險。雖然所述風(fēng)扇能夠產(chǎn)生大量的氣流(例如每分鐘10...

本發(fā)明涉及包括兩個軸的兩軸真空泵。旋轉(zhuǎn)柱塞泵(也稱為羅茨(Roots)泵)通常為兩軸真空泵。Roots泵的兩個軸包括旋轉(zhuǎn)柱塞，該旋轉(zhuǎn)柱塞在不彼此接觸的情況下滑移。兩個軸中的一個由電驅(qū)動馬達(dá)驅(qū)動，而另一個軸通過齒輪而與驅(qū)動軸同步。在泵送操作過程中，旋轉(zhuǎn)柱塞由于氣體壓縮而進(jìn)行較強(qiáng)加熱。實(shí)際上...

本發(fā)明涉及一種壓縮機(jī)，尤其地，本發(fā)明涉及一種液體環(huán)式壓縮機(jī)。大多數(shù)壓縮機(jī)以合適的絕熱過程即在壓縮過期沒有熱量交換進(jìn)行工作。實(shí)際上，例如往復(fù)運(yùn)動的壓縮機(jī)散發(fā)出大量熱量，但是只有小部分的熱量在壓縮期間散發(fā)出來，大部分的熱量在壓縮期間之后或者在結(jié)束階段散發(fā)出來。透平壓縮機(jī)常常具有非常接近絕熱的過程。一些...

本發(fā)明涉及機(jī)械工程，并且可以用于高壓低振動的可逆機(jī)器中，其能夠作為馬達(dá)和泵來工作。可應(yīng)用氣體和液體工作流體。在已知可調(diào)的回轉(zhuǎn)式機(jī)械(UK2207953)中，轉(zhuǎn)子安裝在包括入口和出口的殼體中。轉(zhuǎn)子具有容納徑向滑動閥的槽。所述泵包括用于將閥定位在轉(zhuǎn)子槽中的機(jī)構(gòu)、工作室和可徑向移動的調(diào)節(jié)元件...

本發(fā)明涉及通風(fēng)機(jī)，更具體的說涉及一種葉片可調(diào)式通風(fēng)機(jī)?，F(xiàn)有的空調(diào)軸流風(fēng)機(jī)的葉輪上的葉片一般是固定在葉輪輪轂上，其無法調(diào)整葉片角度，一般是一個葉輪，葉片只有一種角度，無法根據(jù)不同的環(huán)境不同的風(fēng)量要求調(diào)整其角度，從而滿足使用的要求；而有些具有調(diào)整葉片角度功能的軸流風(fēng)機(jī)，一般是設(shè)計(jì)了與軸流風(fēng)機(jī)相...

本發(fā)明涉及用于油電混合、純電動汽車的動力裝置冷卻以及空調(diào)系統(tǒng)PTC加熱裝置冷卻系統(tǒng)，具體的涉及一種新能源汽車的冷卻水泵。新能源(油電混合、純電動)車型的動力裝置主要包括發(fā)動機(jī)(僅限混合動力車輛)、電機(jī)、逆變器和電機(jī)控制器。這些動力裝置的冷卻方式一般采用水冷方式，而如何為除發(fā)動機(jī)外其他動力裝...

本發(fā)明涉及一種熔鹽泵，具體說是一種具有較好散熱性能的高溫熔鹽泵。熔鹽泵是專門用來輸送高溫熔鹽的泵，對于輸送介質(zhì)溫度超過100°C以上，熱量一般是通過主軸或連接支架將高溫?zé)醾鬟f至軸承部位，從而會導(dǎo)致軸承潤滑提前失效并引發(fā)泵運(yùn)行故障，對高溫介質(zhì)輸送泵必須即時對軸承等部位進(jìn)行有效冷卻。傳統(tǒng)的冷卻...

本發(fā)明涉及壓縮機(jī)，特別涉及一種壓縮機(jī)泵體組件具有絕熱特性的壓縮機(jī)。壓縮機(jī)，是一種將低壓氣體提升為高壓氣體的流體機(jī)械，是制冷系統(tǒng)的心臟，低溫低壓的制冷劑氣體通過進(jìn)氣管吸入，同時通過驅(qū)動組件運(yùn)轉(zhuǎn)帶動泵體組件對吸入的制冷劑氣體進(jìn)行壓縮后，向出氣管排出高溫高壓的制冷劑氣體，為制冷循環(huán)提供動力，從而...

本發(fā)明涉及一種電磁裝置，具體的說是指一種磁電動能壓縮機(jī)。壓縮機(jī)作為一種常見的流體機(jī)械，其通過氣缸內(nèi)活塞的往復(fù)運(yùn)動實(shí)現(xiàn)做功。一般壓縮機(jī)的結(jié)構(gòu)包括有電機(jī)、曲柄、連桿、活塞以及氣缸，電機(jī)驅(qū)動曲柄轉(zhuǎn)動，曲柄通過連桿帶動活塞作往復(fù)運(yùn)動，從而使活塞在氣缸內(nèi)運(yùn)動做功。但是由于其各個部件之間均為接觸連接，...

本發(fā)明涉及真空設(shè)備，特別涉及一種連續(xù)真空生產(chǎn)線雙腔轉(zhuǎn)換室抽氣系統(tǒng)。目前的真空抽氣泵大多采用在真空抽氣泵腔體兩端抽氣的方式，即在真空抽氣泵腔體左右兩端設(shè)置抽氣端口。這種抽氣方式將機(jī)器體內(nèi)腔器腔體內(nèi)氣體從鍍膜機(jī)器腔體的兩端源源不斷抽出腔體?，F(xiàn)有技術(shù)的雙腔轉(zhuǎn)換室抽氣系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示，采...

本發(fā)明涉及一種熔鹽泵，具體說是一種具有較好復(fù)合散熱性能的高溫熔鹽泵。熔鹽泵是專門用來輸送高溫熔鹽的泵，對于輸送介質(zhì)溫度超過100°C以上，熱量一般是通過主軸或連接支架將高溫?zé)醾鬟f至軸承部位，從而會導(dǎo)致軸承潤滑提前失效并引發(fā)泵運(yùn)行故障，對高溫介質(zhì)輸送泵必須即時對軸承等部位進(jìn)行有效冷卻。傳統(tǒng)的...

本發(fā)明屬于煤礦井下風(fēng)機(jī)維修，具體涉及風(fēng)機(jī)風(fēng)葉拆卸裝置。通常風(fēng)機(jī)檢修時，需要拆卸風(fēng)葉，而目前常用的拆卸風(fēng)葉的工具圓盤螺旋絲杠存在如下問題在拆卸風(fēng)葉過程中，需要用大錘敲打螺旋絲杠，使頂頭震動，然后進(jìn)行絲杠旋轉(zhuǎn)，在轉(zhuǎn)動時螺旋絲杠頂尖與軸頭頂絲眼摩擦力過大，導(dǎo)致圓盤絲杠不平衡，連接螺栓被拔斷，造成...

本發(fā)明涉及一種無刷電機(jī)滾柱泵，尤其是用于滿足國II1、國IV、國V排放標(biāo)準(zhǔn)柴油機(jī)車油路供給系統(tǒng)，集滾柱泵、無刷電機(jī)、無刷電機(jī)控制器、泄壓閥為一體的無刷電機(jī)滾柱泵。現(xiàn)在車輛上都是滾柱泵和有刷電機(jī)結(jié)合的輸油泵，采用有刷電機(jī)，使用中碳刷磨損，雜質(zhì)污染燃油，發(fā)動機(jī)容易形成積碳。且碳刷磨損后不能正常...

本發(fā)明涉及一種發(fā)電系統(tǒng)，具體說是一種以空氣為動力的氣動發(fā)電系統(tǒng)。目前的發(fā)電系統(tǒng)主要有汽油發(fā)電機(jī)、柴油發(fā)電機(jī)、水輪發(fā)電機(jī)和風(fēng)力發(fā)電機(jī)等系統(tǒng)。這些發(fā)動機(jī)一般要燒油、燒氣或水力、風(fēng)力提供能源。燒油、燒氣的發(fā)電機(jī)有如下缺陷一是油、氣資源少、價格貴，增加運(yùn)行成本；二是都要排放對人體有害的尾氣，污染大...