本技術(shù)屬于半導(dǎo)體生產(chǎn),具體涉及一種用于靜電除油系統(tǒng)的安全保護(hù)裝置。、在半導(dǎo)體重?fù)骄w成長(zhǎng)系統(tǒng)中,需要采用靜電除油系統(tǒng)對(duì)成長(zhǎng)半導(dǎo)體晶體油泵排出的油氣油霧進(jìn)行處理,處理過(guò)程為:油氣油霧通過(guò)進(jìn)氣口進(jìn)入靜電除油系統(tǒng),先經(jīng)過(guò)預(yù)處理區(qū),去除油氣油霧中的大油顆?;蛘唠s質(zhì),然后進(jìn)入高壓靜電場(chǎng)區(qū),通過(guò)高壓電...